Vũ, Thị Hạnh Thu
        Kỹ thuật chế tạo màng mỏng / Vũ Thị Hạnh Thu. - Tp. Hồ Chí Minh : Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh, 2014. - 227tr. ; 21cm.
        Tóm tắt: Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron, phún xạ chùm ion, epitaxy chùm phân tử (MBE) và phun nhiệt...

        ISBN
        
1. Vật liệu màng mỏng -- Chế tạo.2. Kỹ thuật chế tạo vật liệu -- Vật liệu màng mỏng.3. Vật lý -- Trạng thái vật chất -- Màng mỏng.
I. Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh. Trường Đại học Khoa học Tự Nhiên.

Số định danh : 670.28 V500

DHTDM:  [ Rỗi ]  Sơ đồ

DH: DH15001753-7

• Số bản: 5
• Số bản rỗi: 5 (kể cả các bản được giữ chỗ)
• Số bản được giữ chỗ: 0